采用近场电液动力喷射打印技术制备的ZTO薄膜晶体管的电学特性

摘要： 通过电液动力（EHD）喷射系统针尖周围的近场作用制备了氧化锌锡（ZTO）薄膜并进行表征。近场辅助EHD（NF-EHD）喷射获得了椭圆形多液滴。针尖与近场之间约2.5至3伏的电压差优化条件使氧化物半导体溶液得以正常喷射。ZTO薄膜晶体管的电学性能显示迁移率为2.96 cm2/Vs，开关比为10?，阈值电压为4.40 V，亚阈值摆幅为0.54 V/dec。在EHD喷射系统中施加近场后，观察到偏置应力下稳定性提高及应力后的弛豫改善。