集成半导体金属氧化物气体传感器器件感应能力的提升

摘要： 设计、制备了半导体金属氧化物（SMO）气体传感器，并对其传感性能及微热板的热机械特性进行了表征。该传感器在10.5 mW低功耗下对低浓度挥发性有机化合物（VOCs）展现出高灵敏度，响应和恢复时间分别达到20秒与2.3分钟。为进一步提升低功耗下的基线稳定性和传感响应特性，提出采用钽铝合金（TaAl）作为微加热器、铂掺杂二氧化锡（Pt-SnO?）作为薄膜敏感层的新方案，两层结构均沉积于多孔氮化硅膜基底上。本文通过仿真与实验测量对两种设计方案进行表征并对比报道结果，同时重点分析了热脉冲模式及橡胶手机壳对气体传感器性能的影响。