环境气氛激光诱导二硫化钼纳米颗粒局部熟化

摘要： 近年来，过渡金属二硫化物（TMDC）超薄层材料引起了广泛关注。其独特的功能特性可应用于电子学、自旋电子学、光电子学、光子学、能源生产、采集与存储等领域?？⒌统杀?、绿色高效的生长工艺至关重要，目前学界已投入大量精力研究各类制备方法。本文报道了一种基于激光的简易工艺，可直接书写制备TMDC薄膜。具体而言，通过激光直接辐照旋涂法制备的MoS2前驱体，我们获得了由横向尺寸约50纳米、厚度低至双层结构的片状MoS2纳米颗粒组成的三维阵列。采用原子力显微镜和拉曼光谱进行表征，证实这些片状结构仅形成于激光光斑中心区域，表明光斑外区域确为未处理的前驱体。通过调控前驱体沉积工艺，我们成功制备出具有预设层数的MoS2图案。该方法具有高度普适性，实验证明同样适用于其他TMDC材料的可控生长（如成功制备WS2薄膜即为例证）。