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oe1(光电查) - 科学论文

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  • 真空条件下退火的溅射BaSi<sub>2</sub>薄膜特性

    摘要： 本文采用溅射技术沉积BaSi2薄膜，随后通过真空退火工艺使溅射态BaSi2薄膜晶化。利用拉曼光谱研究表面结构与结晶质量，采用俄歇电子能谱测量元素深度分布以分析薄膜成分，并进一步探究光学与电学性能以揭示退火条件的影响。真空退火条件能有效抑制Ba元素扩散，确?；竦没Ъ屏勘鹊腂aSi2层。但由于Ba的高反应活性，即便在真空环境中仍会发生表面氧化现象。未来防止BaSi2表面氧化的研究可着眼于将其他方法（如覆盖层与还原气氛）与真空（或低压）退火条件相结合。

    关键词： 俄歇电子能谱、真空退火、硅化钡、表面氧化、拉曼光谱、溅射

    更新于2025-09-12 10:27:22

  • 脉冲激光沉积法制备用于太阳能电池的多晶BaSi2薄膜

    摘要： 研究人员开发出一种利用脉冲激光沉积（PLD）技术在透明SiO2和CaF2衬底上制备BaSi2薄膜的新方法。X射线衍射和拉曼光谱分析表明沉积薄膜具有多晶特性。通过在SiO2衬底上引入薄硅缓冲层，显著提升了BaSi2薄膜的结晶质量。所制BaSi2薄膜的Ba/Si原子比非常接近0.5，显示出PLD生长工艺良好的化学计量控制能力。多晶BaSi2的吸收系数达到105 cm-1量级，其带隙值推算为1.32 eV，与分子束外延或溅射法制备的薄膜相当。该BaSi2薄膜实现了12.5 mA/W的最大光电响应度，表明PLD沉积的BaSi2在薄膜太阳能电池应用方面具有潜力。

    关键词： 薄膜、硅化钡、太阳能材料、脉冲激光沉积

    更新于2025-09-11 14:15:04