用于硅异质结太阳能电池的磷催化掺杂硅合金

摘要： 本文研究了沉积后催化掺杂（cat-doping）对多种掺杂硅合金（即微晶硅(μc-Si:H)、纳米晶氧化硅(nc-SiOx:H)和微晶碳化硅(μc-SiC:H)）在硅异质结太阳能电池中应用的有效性。通过二次离子质谱(SIMS)测得的磷(P)分布曲线揭示了这三种硅合金薄膜中的磷分布差异。研究发现，经过催化掺杂工艺后，不同样品的导电率和有效载流子寿命均出现不同程度的提升。通过催化掺杂过程中使用不同气体，证实了热退火、氢化和磷掺杂的共存效应。