- 标题
- 摘要
- 关键词
- 实验方案
- 产品
-
基于反向Δβ定向耦合器的硅波导偏振分束器设计
摘要： 我们报道了一种采用硅波导设计的定向耦合器型偏振分束器，工作波长范围为1550-1600纳米。该器件利用TE模与TM模之间的耦合强度差异实现功能，并通过反向Δβ结构获得宽工作波长范围。为确保TE模具有足够的消光比，需设置足够宽的波导间距。仿真结果表明，这种简单结构能在1520-1620纳米波长范围内实现超过100纳米的工作波长区间且保持20分贝消光比。其制备宽度公差超过10纳米，完全满足代工厂工艺要求。
关键词： 偏振分束器、硅波导、定向耦合器、TE和TM模式、反向Δβ结构
更新于2025-09-23 15:21:01
-
[IEEE 2019欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 德国慕尼黑(2019.6.23-2019.6.27)] 2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 用于太赫兹频段的低损耗悬浮硅波导与光子晶体
摘要： 太赫兹集成光子电路在诸多领域具有广泛应用。近年来，我们正见证着太赫兹波应用的空前发展，例如污染物识别、安全成像、高速数据传输、太空有机分子探测等。然而这些系统大多仍依赖体积庞大、基于自由空间的实现方式，需要配备高功耗的笨重太赫兹源与探测器。开发低损耗的芯片级太赫兹集成光子平台并增强能量约束能力，有望显著提升这些技术的性能/成本比。迄今为止，由于芯片内波导损耗严重且需要复杂工艺制造[1][2]，关于毫米波与太赫兹集成电路的报道仍寥寥无几。本研究展示了针对太赫兹频段毫米尺度低损耗低成本悬空硅波导技术的实验成果：具体包括不同长度波导的损耗测量数据，以及通过在悬空波导中刻蚀一维晶体获得集成谐振腔的初步成果。这些结果表明该新型技术平台在集成太赫兹传感与光谱应用中具有卓越的适用性与可行性。
关键词： 光子晶体、集成光子电路、硅波导、太赫兹、低损耗
更新于2025-09-16 10:30:52
-
采用一维光子晶体反射器的平行臂反射式阵列波导光栅
摘要： 作者展示了一种专为硅波导设计的反射式阵列波导光栅。该阵列波导的相移部分采用平行配置，从而实现了器件的紧凑化构建。在一维光子晶体被用作臂端反射器的情况下，获得了宽反射带宽。
关键词： 硅波导、紧凑型器件、一维光子晶体、波分复用、反射式阵列波导光栅
更新于2025-09-16 10:30:52
-
基于硅光子学的倏逝场气体传感器结构特性研究
摘要： 在中红外光谱范围内工作的光子传感器是光子微系统的一个新兴领域。本文提出了一种基于硅波导、利用红外倏逝场吸收的光子气体传感器概念。这些波导专为λ=4.26μm波长下的二氧化碳传感而设计，作为该传感器平台的可能应用场景。我们通过有限元模拟研究了波导横截面及子结构，并采用全批量生产工艺制造了所设计的结构。为评估多晶硅条形波导实现长相互作用路径的潜力，我们开展了多晶硅波导本征损耗研究，测得多晶硅条形波导的最低本征衰减为3.98dB/cm。此外，通过定量测量低至500ppm的二氧化碳浓度，测试了所设计波导的传感性能。根据定量测量数据估算出倏逝场比为η=14%-16%。
关键词： 集成硅光子学、本征损耗、倏逝场吸收、硅波导、光学气体传感
更新于2025-09-09 09:28:46
-
超短脉冲结构化硅中波导效应的起源
摘要： 研究了亚皮秒激光刻写后硅块体中波导形成的起源。通过对波导横截面及传播轴方向进行局部分辨的拉曼测量，发现存在高度局域化的晶体形变。这些改变由具有扰动晶体结构并伴随应变的硅微区构成。这种转变导致局部折射率升高，从而形成局域波导。基于1550纳米激发波长下的近场测量，估算出折射率变化的绝对值约为10^-3量级。
关键词： 拉曼显微镜、硅波导、激光刻写、超短脉冲
更新于2025-09-04 15:30:14