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面向量子光子电路的硅浅脊波导集成超导纳米线单光子探测器
摘要： 设计并制备了一种硅浅脊波导集成超导纳米线单光子探测器。在11.6微安偏置电流下，该器件在1550纳米波长附近实现了4%的片上探测效率，暗计数率为3赫兹，时间抖动为75皮秒。该器件展现出与复杂量子光子电路集成的潜在应用价值。
关键词： 量子光子电路、硅浅脊波导、超导纳米线单光子探测器
更新于2025-09-11 14:15:04