硒化锌单晶上的单模红外光纤波导

摘要： 我们报道了采用6.0 MeV碳离子和氧离子注入结合标准光刻技术在ZnSe单晶中制备工作于红外光纤波段的平面及沟道单模波导。通过棱镜耦合法在暗环境下测量了1539 nm波长下平面波导模式的有效折射率。分别采用端面耦合系统测量和有限差分光束传播法重建了ZnSe单晶波导中1539 nm波长单模的近场强度分布。利用显微拉曼光谱分析了衬底与波导结构的微观结构变化。