利用光谱椭偏仪监测垂直腔面发射激光器应用中的亚波长光栅结构

摘要： 基于砷化镓的垂直腔面发射激光器（VCSELs）因其广泛应用于成像技术、光学传感器和互连领域，已成为增长最快的市场之一。这类激光二极管的稳定单模运行通常通过在砷化镓半导体表面形成亚波长结构来实现。在制造过程中，人们期望能快速且最好是非接触式地检测这些纳米结构。基于光谱椭偏仪的计量方法已成为半导体行业中不可或缺的纳米结构表征工具。椭偏测量法的高级应用是采用穆勒矩阵椭偏仪，该方法能表征标准椭偏测量难以测定或无法触及的结构细节。本文作者展示了在VCSEL制造过程中，通过基于模型的尺寸计量技术，利用光谱椭偏仪和穆勒矩阵光谱椭偏仪对衬底进行纳米结构表征的研究结果。