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利用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺在长管内部进行DLC沉积
摘要： 本研究采用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统，在作为沉积腔体本身的长金属管（长200厘米、直径10厘米）内表面制备类金刚石碳（DLC）薄膜。首先利用氩气、硅烷和乙炔研究了等离子体放电特性及沿管体外表面的温度分布。实验结果表明：管内可建立稳定放电，且使用前驱气体时管表面会形成温度梯度。其次描述了管体内表面DLC薄膜沉积的PECVD实验——为此将抛光不锈钢和硅片样品安装在管体内表面以进行后续镀层分析。研究发现DLC薄膜的生长速率与结构特性沿管体轴向存在变化，但高sp3含量的DLC膜表面具有更优的摩擦学特性，这主要归因于电子与中性质点碰撞引发的局部解离与活化等复杂过程。
关键词： 放电、管内涂层、温度、等离子体增强化学气相沉积、类金刚石碳
更新于2025-09-04 15:30:14
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采用卷对卷PECVD工艺制备的丝网印刷烧结背面钝化接触技术，使大面积单多晶电池效率接近23%
摘要： 我们展示了一种n型双面太阳能电池，其背面采用SiOx/n+：多晶硅钝化接触界面（“单多晶”电池），其中界面氧化层和n+：多晶硅层是通过工业在线等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备制备的。在工业带式烧结炉中烧结后，在1倍太阳光照条件下，我们实现了卓越的钝化质量，暗饱和电流密度（J0）值约为3 fA/cm2，隐含开路电压（iVoc）达到730 mV。通过一种可轻松适应大规模生产的简单太阳能电池工艺流程，使用商用烧穿金属浆料，在大面积丝网印刷的直拉法硅（Cz-Si）太阳能电池上实现了22.8%的峰值电池效率，电池开路电压（Voc）为696 mV。
关键词： 硅片、丝网印刷、工业流程、钝化接触、工业烧结、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、太阳能电池、大面积
更新于2025-09-04 15:30:14