基于氮化铝的自组装等离子体金和银纳米复合薄膜

摘要： 采用一步法薄膜生长技术，成功制备了含等离子体金、银纳米颗粒的氮化铝（AlN）基双相纳米复合薄膜。该类AlN基纳米复合材料在保持宽禁带半导体特性的同时，展现出可调谐的光学特性，包括禁带宽度、等离子体共振及复介电函数。根据生长气氛的不同，金属纳米颗?；嶙宰樽俺赡擅字А⒛擅着毯湍擅琢Ｗ拥炔煌蚊?，从而增强面内与面外的光学各向异性。红外透射测试既显示出AlN的特征峰，也呈现出源于等离子体纳米颗粒的宽透射窗口。这种独特的AlN-金属复合薄膜平台为调控宽禁带III-V族氮化物半导体的光学响应提供了新途径，可应用于红外传感或全光集成回路领域。