[IEEE 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 日本京都 (2018年7月9日-2018年7月13日)] 2018年第31届国际真空纳米电子学会议(IVNC) - 用于X射线和紫外器件的高性能碳纳米管冷阴极

摘要： 我们开发了采用碳纳米管（CNT）发射极的高性能冷阴极电子束制造技术。碳纳米管发射极的特性及其电子发射特性需与应用设备相匹配。X射线管需要极小阴极面积下产生极高电流，而紫外线灯则要求大面积均匀电子发射。为此，我们研发了带有缓冲层和金属层的新型碳纳米管电子束结构，通过牺牲层提升结构刚性和导电性。该新型碳纳米管冷阴极电子束已应用于紫外灯和X射线管，实现了高性能紫外光输出与X射线成像。