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摘要： 细石墨微粉在下游管式反应器中经处理，以快速且均匀地进行粉末表面的有机硅-等离子体涂层的等离子体增强化学气相沉积。由于单次工艺运行会在粉末表面沉积由纳米颗粒分布组成的非连续涂层，因此对粉末进行反复再加工直至获得连续涂层。通过聚焦离子束扫描电子显微镜对涂层进行成像，并采用拉曼光谱和X射线光电子能谱进行化学表征。还进行了粉末流动性评估以研究涂层表面的粗糙度?；П碚鞅砻?，该涂层由含少量氧污染的非晶氢化碳化硅组成。
关键词： 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）、微米粉体、X射线光电子能谱（XPS）
更新于2025-11-21 11:20:42