基于模板限域微回流工艺的FP腔单片全彩滤光片阵列制备

摘要： 法布里-珀罗（FP）谐振器因其高稳定性、环境友好性和化学惰性，在多种应用中备受关注。然而，由于难以制备具有设计厚度的微米级像素化阶梯状介质薄膜，基于金属-介质-金属（MDM）结构的紧凑型单片彩色滤光片阵列（CFA）在技术上仍具挑战性。本研究提出一种模板限域热回流方法，用于制备基于银-聚甲基丙烯酸甲酯-银（Ag-PMMA-Ag）三明治结构的单片CFA。通过对不同填充密度的周期性PMMA纳米光栅进行模板限域热回流，可独立调控每个像素中PMMA介质层的厚度，从而实现整个可见光区域的高透射效率与窄线宽光谱可调谐。与传统多次沉积技术相比，本方法仅需单次曝光步骤即可控制介质膜厚度，并可通过结合纳米压印光刻技术实现高通量生产。