低温下在功能化自组装单分子层上进行铂化学气相沉积

摘要： 采用(COD)PtMe2–xClx（x=0、1、2）在功能化自组装单分子层（SAMs，作为有机基底模型）上研究了铂化学气相沉积的反应路径。残留气体分析表明：(COD)PtMe2和(COD)PtMeCl的沉积初始步骤与甲基自由基的流失一致，而(COD)PtCl2则是以氯自由基的流失为起始步骤。通过X射线光电子能谱和飞行时间二次离子质谱进一步证实，该沉积过程会导致SAM层发生化学损伤且铂沉积量极少?；诖朔⑾?，实验证明可通过自由基捕获剂调控铂CVD速率——在常用烷基自由基捕获剂1,4-环己二烯存在时，铂沉积量提升5至10倍，从而实现了室温条件下有效的铂化学气相沉积工艺。