采用检流计镜扫描器快速光束偏转的脉冲激光沉积技术

摘要： 我们开发了一种采用振镜扫描器实现快速光束偏转（RBD-PLD）的脉冲激光沉积系统，可通过单台激光器交替烧蚀多个靶材。该系统利用振镜扫描器在固定位置的靶材间移动激光束来实现不同靶材材料的交替沉积，而非如传统脉冲激光沉积（PLD）系统那样通过机械方式改变激光固定光路中的靶材位置。因此，传统系统中切换待沉积靶材材料通常需要数秒的"等待"时间，本系统可缩短至几毫秒。我们在薄膜合成的若干技术关键领域展示了该PLD系统的优势：(1) 二元合金薄膜的快速制备；(2) 自然组分梯度库的构建；(3) 靶材切换时间对挥发性化合物沉积的影响；(4) 薄膜中两种材料混合程度的调控；(5) 组分渐变薄膜的高效生长。