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面向可卷曲和可折叠OLED的高可靠性柔性封装技术综述
摘要： 随着对柔性、可卷曲和可折叠显示屏需求的增长，基于具有柔性有机层的有机发光二极管（OLED），包括薄膜晶体管（TFT）、电极、薄膜封装（TFE）和触摸屏面板在内的各种尖端组件技术已得到发展?？⒏叨瓤煽康娜嵝設LED对于实现柔性显示屏至关重要，但柔性封装技术仍存在需要解决的技术难题和问题。本综述涵盖了用于高度可靠柔性OLED的封装技术的最新进展，特别是其材料和结构设计。针对柔性封装中现有技术障碍的解决方案概念进行了探讨。在迄今为止开发的各种先进柔性封装技术中，介绍了采用薄金属层和裂纹阻挡器的中性轴工程。
关键词： 有机发光二极管（OLED）、薄膜封装（TFE）、可折叠、柔性、可卷曲
更新于2025-09-16 10:30:52
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3.4：TFE无掩模技术在可折叠AMOLED显示器中的应用
摘要： 用于可折叠AMOLED显示屏的薄膜封装（TFE）必须具备良好的可靠性与优异的弯折性能。传统TFE掩模易产生颗粒，且厚TFE层在面板弯折时会出现裂纹。我们开发了具有高防水性且极薄厚度的Al2O3层TFE方案，满足了可靠性与弯折性的双重需求。该TFE结构中的Al2O3层采用低温原子层沉积（ALD）工艺制备，并通过优化Al2O3干法刻蚀参数实现了无掩模TFE工艺——研究发现BCl3在无机层（SiOx/SiNx/SiOxNy）与Al2O3之间具有卓越的干法刻蚀选择性。此外，我们还尝试让TFE有机层充当刻蚀掩模并证实其可行性，表明所有TFE掩模均可有效去除。更重要的是，我们验证了无掩模TFE结构的AMOLED显示屏具备优良的光学特性与可靠性表现。
关键词： 原子层沉积（ALD）、无掩模、薄膜封装（TFE）、有源矩阵有机发光二极管（AMOLED）
更新于2025-09-11 14:15:04