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通过耦合体等离子极化激元模式与波导模式实现等离激元干涉光刻
摘要： 基于表面等离激元的等离子体光刻技术已被证实能够突破衍射极限并实现超分辨图案制备。然而此前大多数研究存在能量效率低下和亚波长激发光栅的问题，阻碍了其在纳米制造中的应用。本研究提出一种特殊等离子体光刻原型，其基于通过超材料（HMM）压缩的体等离激元极化激元（BPP）模式与耦合层/HMM/光刻胶（PR）三明治结构中支持的波导模式的耦合。结果表明：在光栅四阶衍射光干涉下，可在整个光刻胶层产生比入射光强度高220%以上的强光刻光强、高深宽比（1.5:1）以及57.5纳米半节距的周期性图案。光刻线宽可达920纳米掩模周期的1/16，约为436纳米照明光波长的1/8。这种周期缩减设计使器件制备更简易、低成本，并对多层膜粗糙度表现出良好耐受性。此外，理论分析方法可广泛适用于包括248、365和405纳米在内的其他紫外波段系统。
关键词： 双曲超材料、体等离极化激元、波导模式、等离子体光刻、表面等离激元
更新于2025-09-12 10:27:22
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[工程技术学会第十二届欧洲天线与传播会议（EuCAP 2018）- 英国伦敦（2018年4月9-13日）] 第十二届欧洲天线与传播会议（EuCAP 2018）- 高灵敏度喷墨打印太赫兹金属孔阵列传感器
摘要： 基于金属孔阵列谐振透射特性的表面等离子体共振传感器采用导电喷墨打印技术制备，用于太赫兹波段工作。通过太赫兹时域光谱法测量传感表面的响应特性。模拟在远小于入射波长的超薄甘油层覆盖表面时，共振频率发生显著偏移。这表明该技术可实现针对化学及生物物质的柔性低成本传感器。
关键词： 超材料、表面等离激元、喷墨、传感器、导电墨水打印
更新于2025-09-04 15:30:14