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通过片上电容器的后表征适配提高超导微谐振器阵列的复用率
摘要： 我们提出一种叉指电容器微调技术，用于精细调节超导微谐振器的共振频率并提高复用因子。首先通过光束映射系统测量阵列的光学响应，将所有共振峰与其物理谐振器对应关联。随后设计具有均匀间距和更高复用因子的新一组共振频率。利用仿真推导需从电容器指条修剪的长度以实现共振频率偏移至目标值。采用接触式光刻修改样品后，使用相同装置重新测量。我们在112像素铝集总元件动力学电感探测器阵列上验证该技术：修剪前先分析阵列的共振频率偏差，发现电感宽度变化是主要诱因；修剪后已识别谐振器的平均相对频率误差为(±)6.4×10??，标准差1.8×10??。最终光学产率从70.5%提升至96.7%，且光束映射时未观测到超过(-)15 dB的串扰。该技术可推广至其他光敏超导微谐振器阵列以提高产率和复用因子。
关键词： 交叉指型电容器微调、集总元件动能电感探测器、超导微谐振器、复用因子、谐振频率调谐
更新于2025-09-23 15:21:01
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预屈曲二氧化钒微机电谐振器的双向频率调谐界面应力
摘要： 结构材料与薄膜涂层之间的界面应力对微机电系统（MEMS）谐振器的谐振频率具有重要影响。本研究通过VO?薄膜涂层的固-固相变来控制不同类型屈曲桥式MEMS谐振器结构的轴向应力。这些器件尺寸相同，但由于过蚀刻与残余热应力失配的共同作用，其屈曲方向和形貌各异。采用热激励方式调节器件谐振频率时发现，频率变化与器件屈曲类型相关：通过集成加热器施加电流或均匀基底加热实现热激励时，基底加热呈现双向调谐特性，而焦耳加热则表现为频率单调变化。该现象可归因于边界条件的转变——屈曲幅度的显著突变标志着转变临界点。此外，具有相反屈曲方向的器件表现出不同的调谐行为，这可通过梁应力界面改性所诱导的不同弯矩差异进行解释。
关键词： 微机电系统谐振器、界面应力、屈曲、二氧化钒、谐振频率调谐
更新于2025-09-19 17:13:59