超导双层（铝/钛）过渡边缘传感器测辐射热计阵列的制备与表征

摘要： 基于氮化硅衬底上铝/钛双层结构实现热连接的四乘四过渡边缘传感器（TES）测辐射热计阵列已完成制备与表征，其无偏置转变温度为1.2开尔文。X射线衍射分析证实该铝/钛双层形成了四方晶系结构。原子力显微镜测得3.11纳米的表面粗糙度相较颗粒尺寸（19.66纳米）可忽略不计，表明表面平整。电阻-温度（R-T）曲线的平滑度与双层传感器表面光洁度相对应，悬空双层TES的超导转变曲线设计为偏置临界温度0.45开尔文且ΔTc=2毫开尔文。此类TES测辐射热计阵列适用于天文观测，广泛用于宇宙微波背景极化探测。