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集成于CMOS工艺硅波导上的量子点单光子源的原位波长调谐
摘要: 硅基量子光子学通过利用互补金属氧化物半导体(CMOS)技术的优势,为大规模量子光子集成电路(QPICs)的实现提供了可行路径。要实现此类硅基QPICs的可扩展运行,最直接的方法是集成确定性单光子源(SPSs)。为此,基于InAs/GaAs量子点(QDs)等确定性固态SPSs的混合集成极具前景。然而,量子点固有的光谱与空间随机性,给在硅CMOS芯片上可扩展地集成多个相同SPSs带来了严峻挑战。为攻克这一难题,我们一直在研究名为转移印刷的混合集成技术——该技术基于拾放操作,能将目标QD SPSs随意集成到硅CMOS芯片任意位置。但即便在此方案中,仍需对来自不同源的干涉光子进行原位精细调谐以实现集成QD SPSs间的完美波长匹配。本文展示了在CMOS硅芯片上集成QD SPSs的原位波长调谐:通过为集成量子点配置光驱动加热垫实现发射波长的热调谐,并采用转移印刷技术集成所有必要元件,大幅简化了微/纳光子结构三维堆叠的制备流程。我们进一步实现了同一硅芯片上两个异质QD源间的原位波长匹配。这种基于转移印刷的方法将为利用CMOS技术构建大规模QPICs开辟可能。
关键词: 波长调谐、转移印刷、量子光子学、单光子源、硅CMOS、量子点
更新于2025-09-16 10:30:52
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[2019年IEEE光子学会议(IPC) - 美国德克萨斯州圣安东尼奥(2019.9.29-2019.10.3)] 2019年IEEE光子学会议(IPC) - 采用集成双色微LED实现100 Mb/s水下无线光通信
摘要: 采用转移印刷法制备的集成蓝紫光与蓝绿光微LED阵列,在1.5米长的水箱中实现了100 Mb/s速率、穿透深度达9个衰减长度的水下波分复用数据传输。
关键词: 水下光通信、可见光通信、微发光二极管、波分复用、转移印刷、浑浊介质
更新于2025-09-11 14:15:04