热退火对氧化锌锡薄膜结构和电学性能的影响及其在透明导电电极中的应用

摘要： 采用电子束蒸发技术制备的沉积态及退火态氧化锌锡(Zn2SnO4)薄膜，通过结构、光学及电学性能表征发现：X射线衍射分析表明沉积态薄膜呈非晶态，而经400℃、500℃和600℃空气退火的薄膜呈现多晶特性。电阻-温度测试显示，从非晶态到结晶态Zn2SnO4的相变导致电阻升高?；舳вΣ馐员砻鞒粱∧さ牡缱忧ㄒ坡饰?3cm2/V·s，载流子浓度(电子)为8.361×101?cm?3。原子力显微镜(AFM)观测到退火薄膜存在晶粒团聚现象。紫外-可见光谱显示的光学透射谱峰证实退火后在导带底与价带顶之间形成了子能级。通过Tauc图计算的带隙变化揭示了热退火后费米能级向价带顶移动的可能性。