具有ZnSe/ZnS/GaAs布拉格反射镜的MSM光电探测器

摘要： 研究了ZnSe/ZnS/GaAs分布式布拉格反射器对金属-半导体-金属（MSM）二极管光谱响应的影响。构成MSM二极管中分布式布拉格反射器的ZnSe/ZnS/GaAs异质结构，其计算与实验反射光谱具有良好的一致性。该MSM探测器在420和472纳米处呈现双色响应，在响应信号的长波部分光敏度急剧下降，具有53%的高量子效率及5×10?1?安培的低暗电流。通过适当选择异质结构参数，可调节探测器的双色响应至所需波长。