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《AIP会议录》[作者 面向新技术与可靠结构的高层次结构先进材料 2016：2016年面向新技术与可靠结构的高层次结构先进材料国际会议论文集 - 俄罗斯托木斯克（2016年9月19-23日）] - 基于Al-Si-N涂层的石英玻璃高速冲击粒子防护
摘要： 该论文展示了基于Al-Si-N体系的涂层在KV玻璃基片上通过脉冲磁控溅射制备的相组成和力学性能研究结果。通过X射线衍射法发现，涂层中含有不同厚度的AlN相（六方密堆积结构）。沉积Al-Si-N涂层体系既能将石英玻璃表层的显微硬度提高至29 GPa，又能保持高弹性性能（韦布尔模量We > 0.70）。实验室测试了高速铁粒子流对脉冲磁控溅射制备的不同厚度Al-Si-N防护涂层的冲击影响。当Al-Si-N涂层厚度从1μm增至10μm时，样品表面因高速铁粒子流冲击形成的弹坑面密度降低为原来的四分之一。
关键词： 结构-相状态、显微硬度、坑密度、光学性能、防护涂层、磁控溅射沉积
更新于2025-09-23 15:22:29
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硅空位中心的荧光特性作为金刚石保护涂层状态的表征指标
摘要： 由于具有优异的性能，多晶金刚石涂层被用于工具和工件的耐磨?；?。然而粘着磨损、磨粒磨损以及涂层剥落可能导致加工设备的损坏和?；?。通过沉积硅掺杂多层金刚石涂层，可以实现对涂层状态的监测。本研究探究了硅空位中心零声子线在掺杂多层金刚石涂层中的行为及传输特性。采用大气激光等离子体化学气相沉积法原位合成了硅掺杂金刚石涂层，使用18 mm2激发面积和248 nm波长进行光致发光测量。虽然掺杂层的光致发光从原理上证明了其作为涂层状态指示剂的适用性，但在所用参数下，涂层中的未掺杂金刚石层对零声子线表现出高透射率。
关键词： 磨损、发光材料、防护涂层、金刚石薄膜、化学气相沉积
更新于2025-09-23 15:21:21