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阴极笼等离子放电技术在硅基上沉积氮化钛薄膜的电化学行为
摘要： 采用带侧孔与不带侧孔的阴极笼进行等离子体放电，在硅基体上沉积了氮化钛薄膜。每层薄膜均在253 Pa压力、2小时处理时间的条件下，通过改变温度及N2和H2气体流量参数制备而成。研究运用电化学极化和电化学阻抗技术，分析了阴极笼侧孔存在与否对薄膜电化学性能的影响，并探究了所形成薄膜的电化学行为——在分析条件下这些薄膜同时表现出电容特性和电阻特性。
关键词： 薄膜、阴极笼、极化、氮化钛、电化学阻抗谱
更新于2025-09-09 09:28:46
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阴极笼中具有空心阴极效应的等离子体沉积氮化钛薄膜
摘要： 阴极笼的使用在玻璃或金属基材上沉积薄膜和厚膜方面展现出巨大潜力。该技术具有多种应用可能。本研究采用阴极笼等离子体放电技术在玻璃基材上沉积氮化钛薄膜，旨在比较使用两种不同厚度顶盖的阴极笼所沉积薄膜的性能。通过X射线衍射分析、反射计测厚、电阻率测量、透光率测试、扫描电子显微镜表面形貌观察及EDS成分分析对薄膜进行表征。反射计结果显示，使用较厚顶盖（10毫米）时薄膜沉积速率和粗糙度均增大。在氮气流量155 sccm、氢气流量95 sccm、气压0.5托的条件下沉积的薄膜在红光和近红外区域呈现低透光率，使其成为潜在的红外滤光片材料。
关键词： 阴极笼，氮化钛，薄膜
更新于2025-09-04 15:30:14