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具有明确纳米间隙间隔的等离子体纳米粒子二聚体阵列
摘要: 等离激元分子是金属纳米结构的构建单元,能产生与分子体系相似的有趣光学现象。由于缺乏能在宏观尺度上控制等离激元原子结构的合适制备方法,目前尚无法实现具有纳米级精度的等离激元杂化结构与分子设计,从而制约了其在光学超材料和传感领域的应用。本研究展示了一种晶圆级"免光刻"并行制备方案,可精确调控纳米间隙等离激元超分子的尺寸、形貌、材质与取向。我们通过该方法实现了对整个可见光波段耦合共振的调控?;诼尤肷湮锢砥喑粱胩荻日诒蔚闹票讣际酰稍诰г卜段诘骺毓丶问?,因而特别适合潜在结构的筛选。最终获得数十亿个排列整齐的二聚体结构,其光谱特性在晶圆范围内呈现可控变化。通过对金二聚体结构的等离激元共振进行光谱测绘,证实其不仅与数值模拟光谱高度吻合,在环境条件下至少一年内仍保持功能稳定。
关键词: 掠射角沉积、晶圆级纳米制造、非对称阴影、纳米光子学、光学超材料、可扩展等离子体技术
更新于2025-09-12 10:27:22