截断介质板中的振动电子能量损失谱

摘要： 专为扫描透射电子显微镜中的电子能量损失谱（EELS）设计的专用仪器，使得利用聚焦电子束探测物质中极低能损耗激发成为可能。本研究探讨了快电子与二氧化硅中光学声子模式的纳米尺度相互作用。我们重点分析了两种几何构型下EEL谱的空间依赖性：自由悬浮的二氧化硅截断薄片，以及二氧化硅与硅的结区薄片。两种情况下均识别出不同损耗通道（包含对总电子能量损失起作用的极化激元与非极化激元贡献），并获得了相应的能量过滤成像图。此外，我们通过理论模拟与实验结果对比了二氧化硅-硅结区的情况，并基于常规实验装置中光学声子激发的条件，讨论了能量过滤成像图可达到的空间分辨率。