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[IEEE 2018年第19届青年专家微/纳米技术与电子器件国际会议(EDM) - 俄罗斯阿尔泰共和国埃尔拉戈尔 (2018.6.29-2018.7.3)] 2018年第19届青年专家微/纳米技术与电子器件国际会议(EDM) - "布拉瓦"装置中超声波发生器与辐射器的频率匹配系统
摘要： 本文致力于解决与"布拉瓦"型超声波工艺设备中超声振动系统（辐射器）共振频率测定相关的问题。
关键词： 频率控制系统、发电机、谐振匹配、超声波
更新于2025-09-23 15:23:52