离子辐照后金红石相TiO?(110)表面演化的动力学研究

摘要： 本文研究了60 keV Ar+离子作用下TiO2表面的演化动力学。通过动态标度假设、高度-高度关联（HHC）模型和功率谱密度（PSD）模型分析了生长机制。表面在非平衡生长过程中形成，并观察到三个独立的演化阶段：早期生长表现为粗糙度指数α～0.72-0.74和生长指数β～0.3，同时存在符合爱德华-威尔金森（EW）生长标度的扩散主导特征；随后阶段因溅射诱导的纳米结构化引发非局域不稳定性，导致β值升高并出现快速表面粗化；最终阶段表面粗糙度趋于饱和。