基于氮化铝薄膜的声表面波谐振器温度响应建模与实验分析

摘要： 对基于氮化铝（AlN）的声表面波谐振器（SAWR）的温度响应进行了建模与测试。其电学性能建模基于本工作提出的改进等效电路模型。对于由压电薄膜和半导体衬底构成的SAWR，在建模中考虑了来自衬底的寄生参数。利用该改进模型可预测AlN/Si和AlN/6H-SiC基SAWR的高温电学性能，表明具有更宽带隙的衬底将带来更稳定的高温特性，这一结论通过波长为12微米的SAWR在300K至725K范围内的高温测试得到进一步实验验证。同时计算并测试了SAWR中心频率的温度响应，实测中心频率温度系数（TCF）分别为：AlN/Si基SAWR为-29ppm/K，AlN/6H-SiC基SAWR为-26ppm/K，与预测值接近。