界面和电流扩展对kA/cm2级电流注入下微LED热传输的影响

摘要： 采用正向电压法、热瞬态测量和红外成像技术，研究了氮化镓（GaN）与蓝宝石衬底上微发光二极管（mLEDs）的三维热特性。在4 kA cm?2电流注入水平下，GaN衬底上的mLEDs结温比蓝宝石衬底低约10°C，且K因子幅值更小。热瞬态测量表明：由于高质量GaN晶体及界面结构，GaN衬底mLEDs的台面热阻、GaN外延层热阻以及GaN/衬底界面热阻均显著降低。红外热像显示GaN衬底mLEDs具有更低的总平均结温和更均匀的温度分布，该结果通过APSYS软件模拟得到验证。研究还探讨了mLEDs中横向与纵向的热传输机制。