用于太阳能电池光学计量的闪光光谱成像技术

摘要： 通过集成波长范围370至1050纳米的伪单色LED与高分辨率黑白相机，实现了对全区域（156毫米×156毫米）硅太阳能晶圆和电池的闪光光谱成像。所采集信息可计算出样品随波长及坐标变化的反射率，从而构成光谱反射率图谱。该技术获得的数值与基于单色仪的测量结果一致。随后基于表面特征在最佳对比度波长下的特征反射率进行光学检测。该技术能揭示隐藏污渍和减反射涂层（ARC）不均匀性，并实现对多晶硅晶圆中晶粒的选择性可视化。金属化区域的光学对比度增强显著提高了金属检测精度。黑白相机的高有效分辨率还能测量精细金属化图案。在每个波长下快速连续的闪光-图像采集过程，使该光学计量技术适用于光伏制造中的太阳能晶圆/电池分选、工艺监测与优化。