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4200-SCS热载体系统 计量配件

4200-SCS热载体系统

分类: 计量配件

厂家: Keithley Instruments Inc

产地: 美国

型号: 4200-SCS Hot Carrier System

更新时间: 2025-10-16T08:05:36.000Z

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测试设备 高精度测试 热载流子退化 MOS晶体管 寿命分析 实时数据分析

Keithley 4200-SCS Hot Carrier System是一款用于测试MOS晶体管热载流子退化的设备,能够在晶圆生产后立即提供准确的退化测试结果。

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概述

Keithley 4200-SCS Hot Carrier System是一款用于测试MOS晶体管热载流子退化的设备,能够在晶圆生产后立即提供准确的退化测试结果。

参数

  • 漏电流 / Drain Current (Idoff) : 测量晶体管处于关断状态时的漏电流
  • 阈值电压 / Threshold Voltage (Vg(Id)) : 在指定漏电流下的阈值电压
  • 跨导 / Transconductance (Gm(Id)) : 在指定漏电流下的跨导
  • 外推阈值电压 / Extrapolated Threshold Voltage (Vtext) : 外推的阈值电压
  • 最大跨导 / Maximum Transconductance (Gmext) : 最大跨导
  • 基板电流 / Substrate Current (Isub) : 基板电流
  • 基板斜率 / Subthreshold Slope (SubSlp) : 基板斜率
  • 电流范围 / Current Range : 0.1fA到1A
  • 电压范围 / Voltage Range : 0.1μV到200V
  • 支持的DUT参数数量 / Number Of DUT Parameters : 最多10个
  • 支持的晶体管类型 / Supported Transistor Types : N型和P型晶体管
  • 支持的SMU数量 / Supported SMU Units : 最多8个
  • 支持的电流源范围 / Supported Current Source Range : 1μA到20A
  • 支持的电压源范围 / Supported Voltage Source Range : 0.1μV到200V
  • 支持的测试标准 / Supported Test Standards : JESD28和JESD60标准
  • 支持的探针卡适配器 / Supported Probe Card Adapter : 9139A Probe Card Adapter

应用

1. 测试MOS晶体管的热载流子退化 2. 测试封装晶体管的热载流子退化 3. 快速检测工艺变化

特征

1. 高精度、低噪声仪器 2. 测量小退化量 3. 短测试时间和快速反馈 4. 支持并行应力测试多个晶体管 5. 支持用户定义的失败和退出参数 6. 实时退化图表显示 7. 符合JESD28和JESD60标准 8. 提供Excel表格的寿命分析工具

图片集

4200-SCS Hot Carrier System图1
4200-SCS Hot Carrier System图2
4200-SCS Hot Carrier System图3

规格书

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厂家介绍

For more than 70 years, Keithley, a Tektronix company, has been designing, manufacturing and marketing advanced electrical test instruments and systems for the specialized needs of electronics manufacturers in high performance production testing, process monitoring, product development and research. Keithley has approximately 500 products that are used to source, measure, connect, control or communicate direct current (DC) or pulsed electrical signals. Keithley customers include scientists and engineers in the worldwide electronics industry involved with 3D sensing, advance materials research, semiconductor device development and fabrication, and the production of end products such as portable wireless devices.

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