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Form Talysurf Intra Contour 光学表面轮廓仪

Form Talysurf Intra Contour

分类: 光学表面轮廓仪

厂家: Spectrum Metrology Ltd

产地: 英国

更新时间: 2024-08-29T11:08:08.000Z

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概述

这款较新的便携式车间轮廓系统以Talysurf系列的形式提供了32mm的宽范围,以适应典型组件上的较大功能,并具有足够的分辨率来检测较小的轮廓偏差(120nm)(超精度模式在6.4mm范围内提供25nm)。20mm范围拾取选项提供75nm分辨率(在4mm范围内提供15nm)。

参数

  • 光源类型 / Light Source Type : CW LED
  • 光源波长 / Light Source Wavelength : 120nm
  • 样品反射率 / Sample Reflectivity : 1 - 1 %
  • 有效值重复性 / RMS Repeatability : <0.01 nm
  • 有效值精度 / RMS Precision : <0.1nm

图片集

Form Talysurf Intra Contour图1

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