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KrCM-LHP 高功率氪真空紫外(VUV)连续光源  紫外线系统
新品

KrCM-LHP 高功率氪真空紫外(VUV)连续光源

分类: 紫外线系统

厂家: Resonance

产地: 美国

型号: KrCM-LHP

更新时间: 2024-08-23T09:22:09.000Z

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光刻 真空应用 光电离 质谱 高强度VUV发射

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概述

Resonance Ltd的KrCM-LHP氪气射频激发灯系统是一种可靠且免维护的深紫外线强光源,发射波长范围从116.5到170纳米。该源可安装到6英寸CF法兰或Acton/Mcpherson法兰,方便连接到超高真空系统。通过输出窗口提供超过100毫瓦的VUV通量,用于真空应用,如光电离、光刻和质谱分析。

参数

  • 气体填充 / Gas Fill : Krypton
  • 峰值波长 / Peak Wavelengths : 116-170NM
  • 全光谱范围 / Full Spectral Range : 116.5-7,000NM
  • VUV光强 / VUV Intensity : 4x1016-4x1017Photons/sec/sr
  • 输出角度范围 / Full Angle Output Cone : 30-65Degrees
  • 窗口材料 / Window Material : MgF2
  • 窗口清晰口径 / Clear Aperture Of Window : 0.4-1.8CM
  • 输入线频率 / Input Line Frequency : 50-65Hz
  • 等离子体深度 / Plasma Depth Behind Face Of Front Flange : 2.0-4.0CM
  • 等离子体直径 / Plasma Diameter : 0.9-4CM
  • 等离子体长度 / Plasma Length : 3-10CM

应用

1. 光电离 2. 光刻 3. 质谱分析

特征

1. 可靠且免维护 2. 适用于超高真空系统 3. 提供强烈的深紫外线光源 4. NIST可追溯的强度监测和校准

详述

1. 可靠且免维护 2. 适用于超高真空系统 3. 提供强烈的深紫外线光源 4. NIST可追溯的强度监测和校准

规格书

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厂家介绍

Resonance有限公司提供全系列的极紫外(EUV)、真空紫外(VUV)、紫外(UV)、可见光(Vis)和红外(IR)组件和系统,专注于定制解决方案,并以现成产品的价格提供服务。凭借在光电技术领域超过35年的经验和高技能多样化的团队,我们能够为最苛刻的需求提供高水平和创新的解决方案。我们的产品广泛应用于全球各类项目,用于测试、测量和研究,深受学术界、航空航天、私人及企业机构的信赖。

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