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超薄电动线性平台 - PG413 (集成直线球导轨)
运动轴: One 旅行范围: 13mm 负载能力: 10kg 负载能力: 3kg 最大速度: 10mm/s骏河精机的PG系列线性电动平移台非常适合需要良好精度和相对较大行程范围的应用。这些电动平移台在激光光学、光谱学、显微镜和计量应用中特别受欢迎。无论您是在研发或工业环境中工作，还是为您的运动控制应用寻找OEM解决方案，骏河精机都能为您的应用提供合适的解决方案。我们的产品在日本制造，并经过严格的质量控制，以满足客户的需求。
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纳米定位元件PU 100 SG
运动距离: 100um 决议: 0.2nmPU转换器由包括弯曲引导系统的单个金属部件组成。这种设计意味着PU平移台表现出极好的机械稳定性，并且因为它们是预加载的，所以可以动态地工作。FEA建模的挠性件保证了零摩擦和高鲁棒性。在高负载版本中，这些致动器可以支持高达240 N的负载，并产生40至100微米的单轴运动。它们很容易适应，因为它们既可以水平安装，也可以垂直安装。坚固耐用的设计使PU系列非常适合需要可靠的亚纳米精度的各种工业应用。
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![[Cave-X定位器] XYZ轴电动线性平台 - KWG06020 (线性球导轨) 电动台](https://api.oe1.com/static-files/products/image/6915915106478546944.jpg)
[Cave-X定位器] XYZ轴电动线性平台 - KWG06020 (线性球导轨)
运动轴: Three 旅行范围: 20mm 负载能力: 3kg 最大速度: 20 - 30mm/sSuruga Seiki的CAVE-X 3轴线性电动平移台非常适合需要良好精度和相对较大行程范围的应用。这些电动平移台在激光光学、光谱学、显微镜和计量应用中特别受欢迎。无论您是在研发或工业环境中工作，还是为您的运动控制应用寻找OEM解决方案，骏河精机都能为您的应用提供合适的解决方案。我们的产品在日本制造，并经过严格的质量控制，以满足客户的需求。
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MTP 105开环推杆
微步尺寸: 105um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.105mm 反冲: Not Specified 运动轴: Three致动器提供非常坚硬的设计，能够产生高达1000N（MTP-15）的阻挡力。这一特性使致动器能够在Z轴上驱动较大10kg（MTP-15）的负载。在标称范围内驱动MTP执行器只需要一个0V至120VDC高压放大器。但是，如果需要，可以通过使用-30V至150VDC的高压放大器来实现额外的范围。如果需要小尺寸和闭环性能，MTP可以与Queensgate的位置测量系统结合使用。这提供了用于亚纳米精度的电容性位置感测，具有与致动器独立放置传感器的优点。这允许将传感器板自由地安装在主机固定装置上的任何方便的点。
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Zaber Technologies - 内置控制器的高真空微型直线运动平台 - X-LSM025B-SV2
轴数: One 真空级: 1.3332e-5mbar我们较近发布了X-LSM-SV2，这是一款经过改进的新型低真空电动线性平台，内置控制器。如果您正在寻找T-LSM-SV2，请参阅T-LSM-SV2页面。如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项，请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。Zaber的X-LSM-SV2系列设备是高真空兼容、计算机控制、电动线性平台，具有高推力和速度能力，尺寸紧凑。它们是独立的单元，需要仅标准24 V或48 V电源。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口，并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源，使多个X系列产品可以共享一个电源。这些微型载物台高度仅为21 mm，非常适合需要小外形的应用。X-LSM-SV2采用真空兼容材料设计，以较大限度地减少放气，并允许更快的抽气时间。与Zaber的所有产品一样，X-LSM-SV2系列采用“即插即用”设计，非常易于设置和操作。
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Zaber Technologies - 内置控制器的高负载电动旋转台 - X-RST
真空兼容: No 内置控制器: Yes 范围: 360degrees 单向精度: 0.16degrees 重复性: <0.005 degreesZaber的X-RST系列产品是内置控制器的电动旋转台。它们的额定中心负载能力为50 kg，扭矩为10 N-m，是高负载、角度定位应用的理想选择。它们是独立的装置，只需要标准的24-48 V电源。索引旋钮可在两个方向上以可变速度提供平滑的手动控制，即使在没有计算机的情况下也可进行多功能操作。按住可在速度模式和位置模式之间切换，转动可移动载物台，按下可停止。该级连接到任何计算机的USB 2.0或RS-232端口，并且每个链可以链接多个单元。它们可以与任何其他Zaber产品链接。设备上方便锁定的4针M8连接器可实现轻松安全的连接。链也共享电源，因此多个X系列产品可以使用单个电源。
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NPS-Z-15L超高负荷闭环15微米推杆
微步尺寸: 1um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.016mm 反冲: Not Specified 运动轴: ThreeNPS-Z-15L是一款针对高负载应用而优化的压电扫描台。NPS-Z-15L提供超过15μm的闭环行程，具有亚纳米分辨率和稳定性。该平台专为高刚度设计，可承载高达500 kg的负载。优化的机械设计产生了空载谐振频率大于8000Hz的器件。超级殷钢结构意味着舞台具有非常高的热稳定性和环境稳定性。通过闭环PID电子设备进行动态优化，较大限度地提高系统的现场步进响应和位置稳定性。电子配置可提供多达3个或6个阶段的独立控制，非常适合大型光学器件或晶片/掩模器件的对准/调平。
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环形推杆R 12/14
运动距离: 12um 决议: 0.03nm压电环形致动器由大量接触的陶瓷环组成?；谒堑纳杓?，他们提供了9毫米或14毫米的自由孔径。这使得它们特别适合集成到激光光束线中?；沸沃葱谢褂写饪堑腞A系列和不带外壳的R系列。R系列执行机构没有预加载。对于动态应用，必须对这些致动器进行预加载。RA系列执行器由机械弹簧进行内部预加载，使其成为动态应用的理想选择。配备应变计传感器的闭环版本也是可用的。
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叠加式执行器，无外壳 N 4/5
运动距离: 4um 决议: 0.008nmPZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能?；谄渖杓?，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。
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Z-轴压电系统PZ 10
运动距离: 10um 决议: 0.02nmPZ 10压电齿轮台提供高达10μm的垂直行程。作为固态现象的结果，分辨率实际上是无限的，低至亚纳米范围?；谌嵝越铝吹挠邢拊治錾杓频那低潮Ｖち肆己玫闹频季?，没有寄生运动。PZ 10级的耐用性使其成为工业应用中永久使用的绝佳选择。
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Zaber Technologies - 内置控制器和电机编码器的高负载电动旋转台 - X-RST-E
真空兼容: No 内置控制器: Yes 范围: 360degrees 单向精度: 0.16degrees 重复性: <0.005 degreesZaber的X-RST-E系列产品是内置控制器和电机编码器的电动旋转平台。它们的额定中心负载能力为50 kg，扭矩为10 N-m，是高负载、角度定位应用的理想选择。它们是独立的装置，只需要标准的24-48 V电源。索引旋钮可在两个方向上以可变速度提供平滑的手动控制，即使在没有计算机的情况下也可进行多功能操作。按住可在速度模式和位置模式之间切换，转动可移动载物台，按下可停止。该级连接到任何计算机的USB 2.0或RS-232端口，并且每个链可以链接多个单元。它们可以与任何其他Zaber产品链接。设备上方便锁定的4针M8连接器可实现轻松安全的连接。链也共享电源，因此多个X系列产品可以使用单个电源。
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P 8/8 叠加式执行器，无机械预载
运动距离: 9um 决议: 0.02nmP系列致动器基于多层技术制成的堆叠式致动器。它们没有机械预载，但仍然可以承受中等压力。它们只能在静态应用程序中使用。压电堆封装在不锈钢外壳中，顶部和底部为环氧树脂，以消除机械间隙。为了保护陶瓷多层致动器，它们填充有柔性硅橡胶材料。多层堆叠致动器提供亚毫秒响应和亚纳米分辨率。
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Z-STAGE 5纳米定位器
底座定位器类型: Multi-Axis Tilt BaseZ-台是一种紧凑的Z直接驱动纳米定位器，具有高速能力。它可以与具有66×66 mm孔径（LF2/LFHS2）的A2轴纳米定位器组合，以获得SPM3或SPM3LR。Z工作台可用于5、10、30或50μm的运动范围。该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）。
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Zaber Technologies - 低真空，滚珠轴承翻译平台 - TSB-V
旅行范围: 60mm 负载能力: 10kgZaber的TSB-V系列平移平台是滚珠轴承线性平台，行程为28mm或60mm。它们与我们的低真空T-NA-SV1系列微型线性致动器兼容，可用于X-Y平台配置。这些真空兼容的平移台使用真空兼容的油脂和环氧树脂以及非阳极化部件。这些平移级已经成功地用于低至10-6托的真空应用中。
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Zaber Technologies - 带有内置控制器和电机编码器的电动线性平台 - X-LHM-E
运动轴: One 旅行范围: 200mm 负载能力: 3kg 最大速度: 65mm/sZaber的X-LHM-E系列设备是计算机控制的电动线性平台，尺寸紧凑，价格实惠。它们是独立的装置，只需要标准的24或48 V电源。内置电机编码器允许闭环操作和打滑/失速恢复功能?？裳〉姆侄刃タ商峁┓奖愕氖侄刂?，即使没有计算机也可进行多功能操作。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口，并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源，使多个X系列产品可以共享一个电源。设备上方便锁定的4针M8连接器可确保设备之间的安全连接。这些微型滑动轴承级高度仅为23 mm，非常适合需要小轮廓的应用。可以容易地调节托架预载，以补偿载物台寿命期间的磨损。与Zaber的所有产品一样，X-LHM-E系列采用“即插即用”设计，非常易于设置和操作。
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叠加式执行器，无外壳 N 2/5
运动距离: 2um 决议: 0.004nmPZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能?；谄渖杓?，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。
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R 12/14环形推杆
运动距离: 12um 决议: 0.03nm压电环形致动器由大量接触的陶瓷圆盘组成。与管式作动器相比，环形作动器的刚度更高，膨胀量是管式作动器的两倍。环形作动器有带外壳的（RA系列）和不带外壳的（R系列）。无外壳的执行机构仅在陶瓷顶部和接地板处连接。带外壳的执行机构在钻孔处用螺钉固定。没有外壳的环形致动器只能用于具有额外预载的动态应用中。RA系列的环形致动器可根据要求提供应变仪反馈传感器。
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带有嵌入式控制器的M3-L微型线性推杆
微步尺寸: 0.5um 内置控制器: Yes 旅行范围: 6mm 准确性: 25um 反冲: Not SpecifiedM3-L是一个集成了驱动器和闭环控制的微型高分辨率定位系统。它以不到同类定位系统一半的尺寸和四分之一的重量提供0.5微米的分辨率。这款紧凑、功能强大的运动系统可帮助OEM设计人员在广泛的应用中提高性能并减小仪器的尺寸。它是光子学、微波和射频系统精密调谐的理想选择。国防应用包括激光束转向和瞄准，UAV和UGV飞行控制，以及用于生物医学和化学检测和分析的现场便携式系统。医疗应用包括微型手术设备和护理点系统。