研究目的
通过采用表面光栅研究高功率宽面1.5微米InGaAsP/InP激光二极管针对温度变化的波长稳定性，以应用于人眼安全的汽车激光雷达系统。
研究成果
该研究成功展示了具有有效波长稳定性的高功率宽面1.5微米InGaAsP分布布拉格反射(DBR)激光二极管，通过采用窄带通滤波器实现了低噪声接收机系统的应用。即使存在显著失谐，DBR也能将激射锁定至光栅，从而便于制备具有相同发射特性且高成品率的大批量激光二极管。
研究不足
该研究聚焦于脉冲操作与特定波长稳定技术，可能未涵盖所有运行条件或替代性稳定方法。
1：实验设计与方法选择：
该研究采用纳米压印光刻技术在激光芯片上单片集成表面光栅以实现波长稳定。
2：样本选择与数据来源：
半导体结构由三个InGaAsP量子阱组成，外围包裹InGaAsP光学限制层和InP包层，通过金属有机气相外延（MOVPE）生长于n-InP(100)衬底上。
3：实验设备与材料清单：
设备包括EVG620掩模对准器、Thorlabs DET08CL/M 5GHz InGaAs光电探测器、Agilent DSO9254A 2.5GHz示波器、横河AQ6375光谱分析仪及安立MS9710C光谱分析仪。材料包含mr-UVCur06光刻胶、SiN层及多种金属化材料。
4：5GHz示波器、横河AQ6375光谱分析仪及安立MS9710C光谱分析仪。材料包含mr-UVCur06光刻胶、SiN层及多种金属化材料。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：通过软印章纳米压印光刻制备DBR光栅，随后进行刻蚀工艺与金属化处理。组件在特定电流脉冲的脉冲工作模式下进行表征。
5：数据分析方法：
测量并分析峰值功率与光谱特性以评估波长稳定效果。
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Antritsu MS9710C optical spectrum analyzer
MS9710C
Antritsu
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Thorlabs DET08CL/M 5 GHz InGaAs photodetector
DET08CL/M
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DSO9254A
Agilent
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Yokogawa AQ6375 optical spectrum analyzer
AQ6375
Yokogawa
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EVG620 mask aligner
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mr-UVCur06 photoresist
mr-UVCur06
Micro resist technology GmbH
Used in the nanoimprint lithography process for patterning the DBR gratings.
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