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[2019年德国慕尼黑激光与光电欧洲会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) (2019.6.23-2019.6.27)] 2019年激光与光电欧洲会议暨欧洲量子电子学会议(CLEO/Europe-EQEC) - 基于微光机电系统的外腔量子级联激光器进展

DOI:10.1109/cleoe-eqec.2019.8871830 出版年份:2019 更新时间:2025-09-11 14:15:04
摘要: 宽带量子级联激光器(QCLs)与集成衍射光栅的微机电系统(MOEMS)扫描仪相结合,该光栅兼具波长选择与光学反馈功能,从而实现了紧凑、便携且坚固的光谱系统。如先前研究[1-2]所示,此类基于MOEMS的外腔(EC)-QCL配置可将单次QCL调谐范围(数百cm?1)的测量时间缩短至约1毫秒,同时无需采用锁相放大器等零差检测系统。该方案还支持非谐振(准静态)MOEMS光栅扫描仪——既能以数十Hz速率扫描,也能静态设定任意波长,同时保持小型MOEMS占位面积、坚固耐用及低功耗的优势。本文综述了弗劳恩霍夫IAF研究所与IPMS研究所最新研发的MOEMS基EC-QCL技术:我们推出一款微型非谐振MOEMS EC-QCL,在保持器件小型化的同时实现数十Hz扫描频率(及静态运行),并具备优异的波长重复性;静态可控MOEMS EC-QCL对需要任意调谐速度(如光热/光声光谱中的大时间常数)与离散波长调谐的光谱应用极具价值——这类调谐速度是机械共振频率始终>120Hz的谐振驱动MOEMS扫描仪所无法实现的,而静态可控方案能独立于QCL增益带宽特性完美满足双重需求。此外,我们还展示了具备腔长控制的谐振驱动连续波(cw)MOEMS EC-QCL,可在>100cm?1光谱范围内实现快速高分辨率光谱测量,并探讨了MOEMS EC-QCL无色散光斑半径的研究进展及维持其持续低噪声运行的技术路径。
作者: Y. V. Flores,M. Haertelt,S. Hugger,L. Butschek,C. Schilling,A. Merten,M. Schwarzenberg,A. Dreyhaupt,J. Grahmann,M. Rattunde,R. Ostendorf
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回顾基于微光机电系统(MOEMS)的外腔量子级联激光器(EC-QCLs)的最新进展,这些激光器适用于紧凑、便携且坚固的光谱系统。

基于微光机电系统(MOEMS)的外腔量子级联激光器(EC-QCLs)为光谱分析提供了紧凑、便携且坚固的解决方案:非谐振配置具有出色的波长重现性和静态操作能力,而谐振驱动配置则能实现宽光谱范围内快速的高分辨率光谱分析。

共振驱动的MOEMS扫描仪的机械谐振频率保持在>120 Hz,限制了某些应用的调谐速度。

SCI高频之选
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    463

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