研究目的
开发一种用于太阳能电池光学计量的闪光光谱成像技术，实现光谱反射率的快速精确测量及表面特征的检测。
研究成果
闪光光谱成像技术能快速、精确地获取光谱反射率图谱，实现对太阳能电池的精细光学检测。该技术可揭示隐藏污渍和减反射膜不均匀性，增强金属化区域对比度，适用于光伏制造流程。
研究不足
该技术在精确测量多晶硅样品的光谱反射率方面存在局限性，这是由于晶粒取向依赖性所致。将测量范围扩展至1200纳米可提高对背面反射器质量的评估。
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用于太阳能电池光学计量的闪光光谱成像技术
DOI：10.7567/JJAP.56.08MB19
期刊：Japanese Journal of Applied Physics
出版年份：2017
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
通过集成波长范围370至1050纳米的伪单色LED与高分辨率黑白相机，实现了对全区域（156毫米×156毫米）硅太阳能晶圆和电池的闪光光谱成像。所采集信息可计算出样品随波长及坐标变化的反射率，从而构成光谱反射率图谱。该技术获得的数值与基于单色仪的测量结果一致。随后基于表面特征在最佳对比度波长下的特征反射率进行光学检测。该技术能揭示隐藏污渍和减反射涂层（ARC）不均匀性，并实现对多晶硅晶圆中晶粒的选择性可视化。金属化区域的光学对比度增强显著提高了金属检测精度。黑白相机的高有效分辨率还能测量精细金属化图案。在每个波长下快速连续的闪光-图像采集过程，使该光学计量技术适用于光伏制造中的太阳能晶圆/电池分选、工艺监测与优化。
作者：
Jian Wei Ho，Jessica Li Jian Koh，Johnson Kai Chi Wong，Samuel Raj，Eric Janssen，Armin G. Aberle
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