研究目的
利用飞秒激光加工研究高阻硅上太赫兹减反结构的制备及其光谱特性。
研究成果
所制造的硅基蛾眼宽带增透结构在0.3至2.5太赫兹频段展现出显著的透射率提升效果，其最大值超过90%。观测到的高频段透射衰减现象归因于加工区域附近材料特性的改变，可能是飞秒激光照射导致硅材料非晶化所致。该结构有望成为高功率、高灵敏度太赫兹应用（特别是在1-2太赫兹频段）的理想器件。
研究不足
导致透射率高频下降的吸收现象确切来源尚不明确。潜在优化方向包括调整所制备蛾眼结构的高度，以增强低频区域的增透功能。
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[IEEE 2019年第44届国际红外、毫米波及太赫兹波会议(IRMMW-THz) - 法国巴黎 (2019.9.1-2019.9.6)] 2019年第44届国际红外、毫米波及太赫兹波会议(IRMMW-THz) - 宽带太赫兹减反结构的飞秒激光加工与评估
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DOI：10.1109/irmmw-thz.2019.8873935
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
我们通过飞秒激光加工在高阻硅表面制备了太赫兹减反结构。利用太赫兹时域光谱技术测量其光谱特性，发现0.3-2.5太赫兹波段透射率呈现宽带增强。通过数值模拟研究该透射现象的光谱特性，当模型引入额外材料损耗时，我们成功复现了包括先前未报道的高频衰减在内的所有频率观测结果。我们认为这些效应由激光烧蚀制备过程所诱导。
作者：
Haruyuki Sakurai，Natsuki Nemoto，Kuniaki Konishi，Ryota Takaku，Yuki Sakurai，Nobuhiko Katayama，Tomotake Matsumura，Junji Yumoto，Makoto Kuwata-Gonokami
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