研究目的
研究激光诱导击穿光谱（LIBS）结合多元统计方法实现聚合物空间分辨分类的能力。
研究成果
激光诱导击穿光谱结合多元统计分析能有效实现聚合物的空间分辨分类，包括二维结构样品和多层体系的深度剖析。该方法可同步进行元素分析，提升信息获取效率。
研究不足
不均匀的烧蚀和散焦效应可能会影响深度剖析结果。聚合物在特定厚度下的半透明性可能导致多层同时烧蚀。
1：实验设计与方法选择：
采用激光诱导击穿光谱（LIBS）进行聚合物的空间分辨分类，运用多元统计方法（主成分分析PCA和k均值聚类）进行数据分析。
2：样品选择与数据来源：
分析了两种结构化合成聚合物样品（二维结构样品和多层体系样品）。
3：实验设备与材料清单：
LIBS J200系统、Nd:YAG激光器、切尔尼-特纳光谱仪、硅晶圆、多种聚合物（ABS、PLA、PE、PAK、PVC）。
4：实验步骤与操作流程：
针对每个样品优化LIBS参数，采用线扫描模式实现横向分辨率，逐层进行深度剖析。
5：数据分析方法：
运用PCA和k均值聚类进行聚合物分类，对数据进行标准化处理并积分发射信号进行分析。
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DektakXT
Bruker
Thickness determination
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LIBS J200 system
J200
Applied Spectra, Inc.
Laser induced breakdown spectroscopy analysis
-
Nd:YAG laser
Ablation and excitation
-
Czerny-Turner spectrometer
Analysis of emitted radiation
-
Si wafer
Infineon Austria AG
Substrate material for analysis
-
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