研究目的
通过在输入波导与光学波导悬臂梁的连接处引入缓冲层来提高光学波导微悬臂梁传感器的灵敏度。
研究成果
提出了一种改进的光学微悬臂梁波导传感器，在输入波导与悬臂梁的连接处引入缓冲结构以降低耦合损耗。结果表明，该结构的耦合效率和灵敏度均有显著提升，其中带缓冲结构的灵敏度较传统结构提高两倍以上。
研究不足
该研究未提及任何具体局限性。
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改进的光学波导微悬臂梁用于集成纳米机械传感器
DOI：10.3390/s19194346
期刊：Sensors
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
本文报道了一种具有高灵敏度的改进型光学波导微悬臂梁传感器。为提高灵敏度，通过延长输入波导，在输入波导与光学波导悬臂梁的连接处引入缓冲层以降低结点耦合损耗。针对不同悬臂梁厚度研究了缓冲层相关的光学损耗。当悬臂梁厚度为300纳米时，发现缓冲层的最佳长度为0.97微米。采用该结构后，光学损耗降低至约40%，最大灵敏度超过传统结构的两倍。
作者：
Yachao Jing，Guofang Fan，Rongwei Wang，Zeping Zhang，Xiaoyu Cai，Jiasi Wei，Xin Chen，Hongyu Li，Yuan Li
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