研究目的
研究利用掺镨硫系化合物波导开发中红外波段多气体检测的紧凑型传感器。
研究成果
该研究展示了集成硒化物波导的中波红外宽带发射，以及针对4-5.5微米波长范围多组分气体传感设计的基于MMI解复用器的仿真结果。该光谱范围与地球大气传输窗口重叠，并呈现O-H、N-H、C-H、C≡(C,N)和C=O化学键及烃类、二氧化碳、一氧化碳等分子伸缩振动模式产生的强特征振动跃迁。
研究不足
开发能够检测痕量分子的紧凑型传感器，亟需将其操作范围扩展至现场测量。中波红外宽带光源的片上集成仍是一项挑战。
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[IEEE 2019年光子学北美会议(PN) - 加拿大魁北克市(2019.5.21-2019.5.23)] 2019光子学北美会议(PN) - 基于Pr<sup>3+</sup>掺杂硫系玻璃波导的中红外多组分气体传感器设计
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[IEEE 2019年光子学北美会议(PN) - 加拿大魁北克市(2019.5.21-2019.5.23)] 2019光子学北美会议(PN) - 基于Pr<sup>3+</sup>掺杂硫系玻璃波导的中红外多组分气体传感器设计
DOI：10.1109/PN.2019.8819593
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
掺镨硒化物薄膜通过射频磁控溅射沉积在热氧化硅片上。随后采用光刻和干法刻蚀技术制备脊形波导。在1.55微米波长光泵浦下，记录到3.5至5.5微米波段的宽带导模中红外光致发光。光学设计证实这些有源波导能在重要环境气体（CO2、CO、NO）的不同吸收波长实现单模光传输?；谥胁ê焱舛嗄８缮嬉牵∕MI）的多组分气体传感解复用器已完成设计。
作者：
L. Bodiou，J. Lemaitre，G. Louvet，S. Normani，E. Baudet，F. Starecki，J.-L. Doualan，Y. Dumeige，I. Hardy，A. Braud，P. Camy，P. Nemec，G. Palma，F. Prudenzano，V. Nazabal，J. Charrier
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