研究目的
通过采用与CMOS兼容的技术将二氧化钛超表面转化为黑色二氧化钛超表面,从而探索其在光化学领域的新应用潜力。
研究成果
所开发的与CMOS兼容的技术成功地将TiO2超表面的应用从平面可见光子学拓展至光化学领域,既能加速化学反应,又可实现选择性波长响应。这为新型光子器件及其他应用开辟了新途径。
研究不足
该技术对特定离子注入条件的依赖性,以及为实现所需吸收特性而对注入时间进行精确控制的需求。
1:实验设计与方法选择:
开发了一种与CMOS兼容的技术,可在不破坏TiO2超表面内部纳米结构的情况下,可逆且精确地控制其吸收特性。
2:样品选择与数据来源:
制备了TiO2超表面并将其转化为黑色TiO2超表面,用于光化学实验。
3:实验设备与材料清单:
采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀机(Oxford PlasmaPro 100 Cobra)进行离子注入。
4:实验步骤与操作流程:
通过注入H+离子将TiO2薄膜转化为黑色TiO2,并利用O?离子实现逆向过程。
5:数据分析方法:
测量反射率和吸收光谱,并分析光化学反应中生成的银纳米颗粒尺寸。
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ICP etcher
PlasmaPro 100 Cobra
Oxford Instruments
Used for ion implantation to convert TiO2 to black TiO2.
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Optical microscope
Axioscope AI
ZEISS
Used for optical characterization of the samples.
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E-beam writer
Raith eLINE
Raith
Used for patterning nanostructures in the fabrication of TiO2 metasurfaces.
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CCD coupled spectrometer
Acton Research 2750
Princeton Instruments
Used for collecting and analyzing reflected and transmitted light from the samples.
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