研究目的
研究薄金属膜上激光热化学记录过程的物理相似性及亚微米结构记录的建模。
研究成果
研究表明，利用物理相似原理可有效模拟薄钛膜上的激光热化学记录过程，从而预测不同条件下的记录效果。该发现凸显了激光热化学记录实现超高分辨率的潜力。
研究不足
该研究的局限性在于假设薄膜和基体的热物理及光学系数具有温度不变性，且仅聚焦于钛薄膜。未探讨其在其他材料及不同温度条件下的适用性。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用连续波Yb光纤激光器，通过改变功率密度和光斑尺寸对薄钛膜进行激光热化学记录。研究方法包括基于物理相似原理的理论建模。
2：样本选择与数据来源：
使用沉积在BK7玻璃基底上的不同厚度（100纳米、200纳米和300纳米）薄钛膜。
3：实验设备与材料清单：
设备包括连续波Yb光纤激光器YLM-100、用于扫描的旋转镜、用于聚焦的物镜、Gentec-EO Solo2功率计、FLIR Titanium 520 M热像仪以及Carl Zeiss Axio Imager A1.m光学显微镜。
4：用于扫描的旋转镜、用于聚焦的物镜、Gentec-EO Solo2功率计、FLIR Titanium 520 M热像仪以及Carl Zeiss Axio Imager Am光学显微镜。 实验步骤与操作流程：
4. 实验步骤与操作流程：实验涉及在不同激光参数下记录钛膜上的氧化结构，并测量光学对比度、温度分布和透射率。
5：数据分析方法：
分析数据以验证不同记录条件下过程的物理相似性，重点关注激光功率密度、光斑尺寸和膜厚度之间的关系。
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Carl Zeiss Axio Imager A1.m optical microscope
Axio Imager A1.m
Carl Zeiss
Used for examining the optical properties of the recorded microstructures.
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Yb-fiber laser YLM-100
YLM-100
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