研究目的
研究双激光沉积法制备的钨掺杂类金刚石(DLC)薄膜的摩擦学与粘附性能。
研究成果
钨掺杂类金刚石薄膜的临界载荷随钨含量增加而提高，摩擦系数则呈现变化。该方法可推广应用于功能薄膜领域中的其他掺杂薄膜。
研究不足
采用两种不同激光源的脉冲激光沉积方法较为复杂，且会降低实验的可控性。激光束产生的等离子体空间不均匀性会影响钨含量的分布。
1：实验设计与方法选择：
采用纳秒和飞秒激光同步烧蚀石墨与钨靶材，在条形衬底上制备不同钨掺杂浓度的类金刚石碳膜。
2：样品选择与数据来源：
以本征锗片作为衬底，选用高纯度高取向热解石墨（HOPG）靶材与钨靶材。
3：实验设备与材料清单：
使用KrF准分子激光器（纳秒激光）与钛宝石激光器（飞秒激光）进行烧蚀。
4：实验流程与操作步骤：
沉积前对衬底进行清洗并氩离子轰击处理，将激光束以45度角聚焦于钨靶与石墨靶表面并控制扫描运动。
5：数据分析方法：
采用X射线光电子能谱（XPS）、激光共聚焦显微镜、原子力显微镜、纳米划痕及微摩擦测试仪进行表征。
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