研究目的
研究飞秒激光烧蚀诱导的类金刚石纳米复合(DLN)膜的结构转变与表面特性改性。
研究成果
飞秒激光加工是一种有效技术，可在微观和宏观尺度上赋予硬质DLN涂层新特性，包括结构转变、各向异性润湿行为和低摩擦特性。
研究不足
本研究仅限于分析飞秒激光烧蚀对DLN薄膜引起的结构转变和表面性质改性。未深入探究不同激光参数和环境条件对烧蚀过程及最终性质的影响。
1：实验设计与方法选择：
采用可见光飞秒激光对DLN薄膜进行表面改性和微图案化处理。
2：样品选择与数据来源：
DLN薄膜通过等离子体辅助化学气相沉积法，以聚苯甲基硅氧烷蒸气为原料在硅衬底上生长而成。
3：实验设备与材料清单：
SATSUMA HP2飞秒激光系统、拉曼光谱仪LabRam、基于Titan 80–300 TEM/STEM的分析复合设备、接触角测量系统OSA20以及NTEGRA Spectra系统的原子力显微镜。
4：实验步骤与操作流程：
通过激光烧蚀加工在DLN薄膜上制备微沟槽图案，利用拉曼光谱和透射电镜研究结构转变，通过水接触角测量确定润湿性，并采用原子力显微镜研究纳米/微米级摩擦特性。
5：数据分析方法：
测量并分析拉曼光谱以揭示结构变化，利用透射电镜图像和电子衍射图样研究激光烧蚀表面的结构，通过接触角测量和横向力显微镜检测获取润湿性与摩擦特性数据。
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SATSUMA HP2 femtosecond laser system
HP2
Amplitude Systèmes
Generating pulses for laser ablation processing
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Titan 80–300 TEM/STEM
Titan 80–300
FEI
Studying the structure of film surface layers
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Raman spectrometer LabRam
LabRam
Measuring Raman spectra
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Contact Angle System OSA20
OSA20
Dataphysics Instruments
Measuring water contact angles
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Atomic force microscope NTEGRA Spectra system
NTEGRA Spectra
NT-MDT
Studying nano/microscale friction properties
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