研究目的
通过使用532纳米激光照射展示双层WSe2表面层的选择性氧化，并理解WSe2薄膜的各向异性氧化特性。
研究成果
该研究展示了双层WSe2薄膜的层选择性氧化及各向异性氧化特性，为阐明低维体系中的氧化过程提供了指导。
研究不足
掺杂态的脆弱性及其对制备过程的不耐受性。高入射激光功率不适合层选择性氧化。
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激光加热对双层WSe?表面层的选择性氧化
DOI：10.7567/1347-4065/ab50da
期刊：Japanese Journal of Applied Physics
出版年份：2019
更新时间：2025-09-12 10:27:22
摘要：
WSe2薄膜在面内与面外方向上存在多种各向异性，这影响了其对外部操作的响应?；谡庑└飨蛞煨蕴卣?，我们通过精准调控热传导实现了双层WSe2表面层的选择性氧化，并运用光学显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱及光致发光测量技术，对覆盖氧化层的单层WSe2结构进行了表征。此外，研究发现激光处理覆盖氧化层的单层WSe2可能引发光活化氧化现象。这些观测结果为理解低维氧化行为提供了重要线索。
作者：
Hiroki Shioya，Kazuhito Tsukagoshi，Keiji Ueno，Akira Oiwa
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