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通过同时激光烧蚀CdTe和Sn靶材沉积的CdTe:Sn薄膜

DOI:10.1088/2053-1591/ab6119 期刊:Materials Research Express 出版年份:2019 更新时间:2025-09-12 10:27:22
摘要: 采用脉冲激光沉积法在室温下于玻璃基底上制备了CdTe:Sn薄膜。本研究通过朗缪尔平面探针测量计算Sn离子密度,分析了薄膜化学、结构及光学性能随Sn离子密度的变化规律。实验在真空环境中同步烧蚀CdTe与Sn靶材制备了四组薄膜,通过调节Sn靶材能量密度改变Sn离子密度(保持CdTe等离子体密度恒定)。XPS化学成分分析表明:Sn掺入CdTe晶格的程度与Sn离子等离子体密度相关。XRD晶体结构分析显示所有薄膜均呈六方结构,当CdTe与Sn等离子体共沉积时,薄膜呈现(110)晶面择优取向,且随着Sn等离子体密度增加,(110)衍射峰强度增强,证实晶体再取向是Sn掺入CdTe晶格所致。拉曼光谱显示118 cm-1处出现与Sn-Te振动相关的振动模式,表明替代位Sn已掺入CdTe晶格;XPS在485和494 eV处出现的特征峰(对应SnTe中Sn2+)进一步验证了Sn-Te键合。薄膜厚度随Sn离子密度增加而增大(320-460 nm)。UV-Vis分光光度法测得带隙值范围为1.42-1.46 eV,光致发光测试显示近边发射峰随Sn等离子体密度增加发生轻微蓝移。
作者: L.P. Rivera,E. García,D. Cardona,A. Pérez-Centeno,E. Camps,M.A. Santana-Aranda,G. Gómez-Rosas,F. de Moure-Flores,A. Chávez-Chávez,J.G. Qui?ones-Galván
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研究概述 实验方案 设备清单

研究锡离子密度对脉冲激光沉积法制备的CdTe:Sn薄膜化学、结构和光学性能的影响。

通过脉冲激光沉积(PLD)过程中锡(Sn)与碲化镉(CdTe)等离子体的复合,成功实现了Sn在CdTe基质中的替代掺杂。利用朗缪尔平面探针测量调控Sn等离子体密度,使薄膜中Sn含量在0.1至0.5原子百分比(at.%)范围内变化。拉曼光谱中118 cm-1处振动峰的出现与Sn替代掺入CdTe晶格相关,对应A1对称性的Sn-Te振动模式。计算表明CdTe及CdTe:Sn薄膜的带隙约为1.43 eV。Sn的掺入使六方相CdTe结构产生了(110)晶向择优取向。

该研究仅限于锡离子密度对CdTe:Sn薄膜性能的影响,未探讨其他掺杂元素或沉积条件。

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