研究目的
研究亚波长光栅（SWG）波导在悬浮法布里-珀罗（FP）腔中的集成，探索其在腔光力力学中的潜在应用。
研究成果
该研究表明，在悬浮法布里-珀罗腔内集成SWG波导具有可行性，由于波导的SWG特性，展现出实现强光力耦合速率的潜力，为腔光力学应用开辟了新途径。
研究不足
该研究受限于当前实现的光学品质因数以及悬浮结构的潜在机械共振特性。
首页
论文列表
[2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议（CLEO/Europe-EQEC） - 德国慕尼黑（2019.6.23-2019.6.27）] 2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议（CLEO/Europe-EQEC） - 芯片级亚波长光栅法布里-珀罗腔，面向集成腔光力应用
中文（中国）
▾
[2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议（CLEO/Europe-EQEC） - 德国慕尼黑（2019.6.23-2019.6.27）] 2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议（CLEO/Europe-EQEC） - 芯片级亚波长光栅法布里-珀罗腔，面向集成腔光力应用
DOI：10.1109/cleoe-eqec.2019.8871938
出版年份：2019
更新时间：2025-09-12 10:27:22
摘要：
亚波长光栅（SWG）周期性介质由介电常数交替的薄层构成，其周期Λ远小于入射波长，从而有效抑制衍射或干涉效应。作为良好的一阶近似，SWG介质可视为具有介电常数平均化效应的均匀无损介质[1]。2010年首次提出并验证了将SWG介质用作光学波导芯层和/或包层材料的方案[2]，通过简单光刻图案化即可实现光折射导波指数的便捷调控。此后，SWG波导在波导交叉、多模干涉仪、光学滤波器、中红外波导乃至生物传感等领域获得广泛应用[3]。我们提出将SWG波导集成于悬浮法布里-珀罗（FP）腔结构（见图1a）：腔体核心由硅/空气交替的SWG薄层构成，输入输出镜面采用直接布拉格反射器（DBR），整个结构通过两根支撑臂实现完全悬浮。本文阐述了该腔体的理论建模、工艺实现及光学特性表征——设计过程结合了采用等效折射率处理SWG介质的解析模型与二维有效折射率时域有限差分（FDTD）仿真，并在200mm绝缘体上硅（SOI）晶圆上通过电子束光刻制备波导层，最终在1520-1580nm波长范围进行全晶圆光谱测试。截至发稿时，测得2μm长腔体的光学品质因数达10,000。我们认为此类悬浮结构可用于腔光力力学领域（光学腔与机械谐振器耦合的系统[4]）。由于完全悬浮特性，该结构预期会产生机械共振，其表现类似于双端固支多孔悬臂梁（见图1c）。除传统腔长变化导致的相位偏移外，SWG波导等效折射率随周期Λ（即腔体长度）变化的特性还将引入额外相位偏移?；诖烁郊有в?，我们预期将实现强光力耦合速率。
作者：
Boris Taurel，Pierre Labeye，Jean-Marc Fedeli，Laurent Duraffourg
AI智能分析
纠错
研究概述
实验方案
设备清单
SCI高频之选
查看全部>
-
智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。获取实验方案
-
智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕?，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。获取实验方案 -
智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。获取实验方案 -
型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex
智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。获取实验方案
立即咨询
加载中....
论文纠错
您正在对论文“[2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议（CLEO/Europe-EQEC） - 德国慕尼黑（2019.6.23-2019.6.27）] 2019年欧洲激光与电光会议暨欧洲量子电子学会议（CLEO/Europe-EQEC） - 芯片级亚波长光栅法布里-珀罗腔，面向集成腔光力应用”进行纠错
纠错内容
联系方式（选填）
设备询价
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期
产品预约
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期